当前位置：成都汉普升科技有限公司电阻电子束沉积成都真空厂家 Research电子束蒸发镀膜机

　　●该设备为电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统，同时兼容IBE等离子刻蚀和在线辅助镀膜，过流部件均采用SUS304制造，真空系统后置，标准配置分子泵系统，标配工业级人机界面和西门子PLC系统，手动和自动模式自由切换，能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。

　　●工件架系统：客户需求定制，配置可扩展4英寸、3英寸、2英寸基片的专用互换工装，转速3～30rpm变频可调，工件盘为球形和行星工件盘可选，行星工件盘成本较高。

　　●烘烤系统：不锈钢铠装加热器匹配数字功率和PID控制模块，烘烤温度300℃，温控精度1℃，过冲不超过2℃。

　　●电子束蒸发源：E型电子束蒸发源系统(E型)1套，主体有屏蔽罩，单枪、单电源、单扫描，配置独立高压控制柜。

　　●控制系统：成熟可靠的真空镀膜控制系统，工业级10英寸触摸屏和西门子PLC，能够实现抽真空、工转烘烤、自动充气、自动镀膜、自动冷却放气等镀膜生产流程；支持半自动和手动等镀膜操作方式。水、电、气路有故障自动报警和保护系统，采用声光报警。

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